IBE离子束系统原理及故障解析

作者：徐俊; 申强; 孙运玺

来源：电子工业专用设备, 2023, 52(05): 41-45.

• 离子束
• 离子源
• 刻蚀
• 等离子体桥中和器

介绍了离子束刻蚀系统用的大尺寸离子源、等离子体桥中和器的结构组成，描述了各部件的主要作用和工作原理，简要分析了各参数之间的相互关系；并提供了该类型设备常见故障的识别和排除方法。

• 单位
  中国电子科技集团公司第五十五研究所