针对振镜式激光直写光栅系统中存在的扫描畸变的问题，提出了一种内部转角优化和外部扫描误差补偿相结合的校正方法。以光栅栅距10μm为目标，建立了振镜系统的几何光学模型，对扫描误差进行了分析，然后对振镜转角进行了优化，进一步对振镜进行了曲线拟合补偿，坐标点(100,10)处误差从0.936 mm, 1.912 mm降低到0.148μm, 0.0296μm。结果表明，这种方法能够满足振镜式激光直写光栅在短距离刻划的精度要求。
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