数字式激光平面干涉仪校准规范介绍

作者：王生云; 杨红; 张玫; 姜昌录

来源：应用光学, 2007, (05): 671-673.

• 校准规范
• 数字式干涉仪
• 平面度测量 calibration specification
• digital interferometer
• measurement of planeress

数字式激光平面干涉仪是用于测量光学元件面形和无焦光学系统波像差的光学仪器。为了统一数字式激光平面干涉仪测量量值,保证其测量结果的准确性和溯源性,编写数字式激光平面干涉仪校准规范。简要介绍了数字式激光平面干涉仪校准规范的构成,被校仪器的技术指标和校准方法等。

• 单位
  西安应用光学研究所