新型微电极葡萄糖传感器

作者：刘敬伟; 边超; 韩泾鸿; 夏善红; 陈绍凤

来源：仪器仪表学报, 2004, S1: 396-397+411.

DOI：10.19650/j.cnki.cjsi.2004.s1.171

• 传感器
• GOD
• 微电极
• 微反应池
• 硅腐蚀
• 葡萄糖 Sensor GOD Micro electrode Micro reaction pool Silicon wet etching Glucose

提出了一种新型的微电极葡萄糖传感器。以与IC兼容的硅作为基底材料,利用MEMS加工工艺,采用硅腐蚀及SU8微反应池方法制成了新型微电极传感器。与传统的电流型传感器相比,该传感器有较小的敏感面积(1mm×1mm),较低的检测下限(1×10-4M),较宽的检测范围(1×10-4～1×10-2M),较好的重现性与稳定性,以及易于与处理电路集成等优点。

• 单位
  中国科学院研究生院; 中国科学院电子学研究所; 传感技术国家重点实验室