本发明公开了一种溶剂蒸气热处理提高有机薄膜晶体管器件载流子迁移率的方法。本发明将有机薄膜晶体管器件的有源层置于溶剂蒸汽环境中热退火处理,显著增加了有源层的表面粗糙度,从而提高器件载流子的迁移率,为提高OTFT器件载流子迁移率提供了一种新的后处理工艺。