适用于SiC化学气相沉积工艺的真空机组研究

作者：周岳兵; 胡祥龙; 胡高健; 李益民

来源：炭素, 2016, (04): 28-10.

• SiC
• 化学气相沉积
• 真空泵

通过实验对不同真空泵应用于SiC化学气相沉积工艺的失效时间进行对比,并从结构上对不同真空泵失效的原理进行分析,确定了适用于SIC化学气相沉积工艺的真空泵组。

• 单位
  湖南顶立科技有限公司; 中南大学