高g值压阻式加速度计设计与仿真

作者：李永伟; 郭晋秦^*; 乔俊福; 李峰; 乔志敏; 张烨; 芦婧; **; 闫莎莎

来源：半导体光电, 2023, 44(05): 690-693.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2023052602

• 压阻
• 高g值加速度计
• 有限元仿真

研究了一种具有高灵敏度、小尺寸的四端梁结构的压阻式加速度计。利用有限元软件对不同悬臂梁、质量块尺寸的结构建立模型，并对该结构进行了灵敏度与应力分析、模态分析，以及动态响应分析。仿真研究结果表明，在50 kg量程内，传感器轴向灵敏度达到7.40μV/g,横向灵敏度为0.33%,线性度为0.06%,响应时间为20.3μs,固有频率为111.2 kHz。抗冲击性能能达到334 000 g,可以满足高g值环境下的测试需求，同时该研究为研制高性能传感器提供了一种准确且高效的仿真方法。

• 单位
  太原工业学院