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摘要
本发明公开了一种柔性热释电探测器及其制作方法,涉及高精度探测技术。针对现有技术中单晶或陶瓷无法应用在柔质薄膜上的问题提出本方案。主要利用敏感单元和柔质衬底分别制作结合转印的方式,将单晶或陶瓷材料支撑的敏感单元附着于柔性衬底上。优点在于,敏感单元仅有几百纳米的厚度,大大减小热容,这使得探测响应速度非常快。解决了难以将高性能的单晶或陶瓷制备在柔性衬底上的问题。将单晶或陶瓷材料与柔性衬底相结合,一方面保留了优良的热释电性能,另一方面利用柔性衬底可以扩大探测器的视野范围与灵活性,并有望应用在人体生物医疗等柔性传感器领域。
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