制备了一种新型中空结构的行波压电电机,其定子外径62 mm,内径30 mm,高45 mm,质量约200 g。定子正面由齿单元构成,背面与P4压电材料粘接。定子采用(0,9)振动模式,在电压有效值为60 V、频率40.2 kHz下其空载转速为28 r/min,最大输出载荷0.07 Nm。中空结构的压电电机主要用于对图像的聚焦调节、伺服阀控制或其他需要将被执行机构置于电机内部等场合。
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