ZnO微纳结构对GaN基LED光提取效率的影响研究

作者：雒倩男; 胡芳仁^*; 贾博仑

来源：半导体光电, 2021, 42(03): 315-326.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2021.03.003

• ZnO微纳结构
• 光提取效率
• GaN基LED
• 时域有限差分

基于时域有限差分法(FDTD)在GaN基LED表面分别生长了ZnO柱状与锥状微纳结构,并利用Rsoft模拟仿真软件分析了两种结构的几何参量(排列周期p、高度H、底面直径D等)对GaN基LED光提取效率的影响。结果表明两种结构均可提高器件的光提取效率,柱状结构在H=0.25μm,p=1.5μm,D=0.9μm时表现最优,其光提取效率是未加任何结构平板LED的5.6倍;而锥状结构在H=0.6μm,p=1.4μm,D=1.4μm时表现最优,其光提取效率是未加任何结构平板LED的5.3倍。研究结果对高性能GaN基LED的设计与制备具有一定指导意义。

• 单位
  通信与信息工程学院; 南京邮电大学