中频非平衡磁控溅射沉积Ti-DLC膜摩擦磨损性能研究

作者：郑越青; 王立平; 陈金明; 张广安; 王云峰

来源：润滑与密封, 2009, (11): 36-39.

DOI：10.3969/j.issn.0254-0150.2009.11.010

• 磁控溅射
• DLC薄膜
• 摩擦磨损性能 magnetron sputtering
• DLC film
• tribological properties

采用中频非平衡磁控溅射技术制备Ti掺杂DLC(Ti-DLC)薄膜,对该薄膜的结构、内应力、结合强度进行了分析,分析了该薄膜与不同材料(Si3N4、钢、Ti-DLC)对摩时的摩擦磨损性能。结果表明,该方法沉积的DLC薄膜具有结构致密、内应力低、结合强度较高等特点;Ti-DLC的摩擦磨损性能与对偶材料有关,Ti-DLC与Si3N4对摩时摩擦因数最低,磨损率最高;Ti-DLC与钢对摩时摩擦因数最高,且伴随明显波动;Ti-DLC与Ti-DLC对摩时磨损率最低,达到10-8量级。

• 单位
  中国科学院兰州化学物理研究所; 固体润滑国家重点实验室; 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所