采用低温冷轧及短时间退火制备了具有超细晶结构的CoCrMnFeNi高熵合金。通过准静态拉伸,研究了材料在77~573K的变形行为和应变率敏感性。结果表明,加工的材料在77 K具有优异的综合力学性能。随着实验温度由298 K提高到473 K,超细晶材料的强度增加,塑性降低。超细晶高熵合金的应变速率敏感系数明显低于粗晶的,并在298~473K急剧降低。