溅射功率对玉米蛋白膜基底上制备氧化锌(ZnO)薄膜性质的影响

作者：雷蕾; 王超^*; 杨帆

来源：吉林建筑大学学报, 2019, 36(01): 77-81.

• 氧化锌(ZnO)薄膜
• 玉米蛋白膜
• 磁控溅射

室温下采用射频磁控溅射方法在蛋白质基底上沉积了氧化锌(ZnO)薄膜,研究了溅射功率对ZnO薄膜表面形貌和光学性能的影响.X射线衍射测试结果表明,所制备的薄膜均为纤锌矿结构,其取向以(0002)面择优生长为主.薄膜的结晶度和表面形貌与溅射功率密切相关,同时,溅射功率对薄膜的微观结构和光学性能有很大的影响.光学吸收测试结果表明,在玉米蛋白基底上制备的ZnO薄膜在380 nm处具有陡峭的吸收边,在不同溅射功率条件下制备的薄膜禁带宽度均在3.26 eV附近.此外,本文还研究了蛋白质基底上制备ZnO薄膜的光致发光谱.

• 单位
  吉林建筑大学