本发明公开了一种紧密排布的复合SiO-(2)纳米球阵列结构及仿蛾眼减反结构和制备方法,通过实心、空心SiO-(2)纳米球组装紧密排布的复合纳米球阵列结构,然后在此阵列结构上,组装实心SiO-(2)纳米球,制备出高透过率的SiO-(2)纳米球仿蛾眼减反结构。该减反结构在可见光波段具有高透过率且入射光角度依赖小。SiO-(2)纳米球仿蛾眼减反结构在光伏电池、平板显示器等光电设备中具有很高的应用价值。