圆光栅测角误差补偿方法

作者：李忠明; 李俊霖; 韩冰; 唐延甫; 杨永强; 马悦

来源：仪表技术与传感器, 2021, (10): 56-59+89.

DOI：10.3969/j.issn.1002-1841.2021.10.011

• 圆光栅
• 测角误差
• 偏心
• 误差补偿
• 标定
• 数据拟合

提出了一种使用增量式圆光栅的高精度转台,并针对圆光栅安装偏心导致的测角误差,利用三阶正弦拟合的方法进行误差修正。首先介绍了一种蜗轮蜗杆转台,然后介绍了圆光栅测角误差的主要来源,分析了圆光栅安装不当导致测角误差的产生机理及误差分布规律。利用多齿分度台和自准直仪对测角精度进行标定,分析标定后的转台误差分布规律,利用三阶正弦拟合的方法对转台进行误差修正。最后,分别利用多齿分度台和十七面体对误差修正效果进行实验验证。实验结果表明:利用此方法进行误差补偿,最大误差由114.4″降低到1.8″。

• 单位
  中国科学院大学; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所