MEMS光纤温度氢气传感器在油状态监测中的应用研究

作者：赵乐; 贾雅君; 江俊杰^*; 席东民; 刘林钊; 金之俭

来源：传感器与微系统, 2022, 41(06): 52-60.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)06-0052-04

• 微机电系统
• 光纤
• 传感器
• 温度
• 氢气含量
• 在线监测

通过将微机电系统(MEMS)加工技术与光纤传感器技术相结合的方法，将温度感知模块和氢气感知模块集成在温度氢气MEMS光纤复合传感器内部，并在25号绝缘油中完成油温和油中溶解氢气的可行性验证实验。实验结果表明：温度感知模块在35～85℃的绝缘油温度范围内有良好的线性度，其灵敏度为14.5 pm/℃;氢气感知模块对油中溶解氢气有较强的响应，且完成氢气体积分数测量后，光谱峰值可恢复至初始状态。验证了该复合传感器在油中气体检测应用的可行性。

• 单位
  内蒙古工业大学; 上海交通大学