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摘要
为验证ECR等离子体源作为探针校准装置中标准等离子体发生器的可行性,试验研究微波管电流、气压等不同放电条件对ECR等离子体源的耦合作用,以及放电产生的等离子体特征参数的稳定性、均匀性和重复性。结果表明:在合适的放电条件下,ECR等离子体源产生的等离子体特征参数重复性较好,在300 mm×200 mm的空间范围内分布均匀且在2 h内较稳定。因此,可以在探针校准装置中使用ECR等离子体源作为标准等离子体发生器。
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单位北京空间机电研究所; 北京东方计量测试研究所
