碳源对晶硅废料制备碳化硅的影响

作者：杜春霖; 姜胜南^*

来源：辽东学院学报(自然科学版), 2022, 29(03): 153-159.

DOI：10.14168/j.issn.1673-4939.2022.03.01

• 晶硅废料
• 碳化硅
• 碳源
• 回收

研究碳源种类对晶硅废料制备碳化硅的影响并制备出高附加值的碳化硅微粉，为晶硅废料的回收再利用提供理论指导。对以晶硅废料为原料制备碳化硅的过程进行热力学研究，发现升高反应温度或者降低CO分压均可促进产物碳化硅的生成。通过XRD、SEM及Rietveld精修计算研究不同碳源在不同气氛下对制备碳化硅的影响，结果表明：采用蔗糖为碳源于氩气条件下制得产物的物相组成最纯净，产物中碳化硅的质量分数为95%，产物形貌呈类球状。

• 单位
  辽东学院