微法布里-珀罗腔可调谐滤波器的研究进展

作者：黄新; 蒙庆华^*; 张克智; 何馥娴; 卢旭恒; 王瑞扬; 唐柳; 吴哲锋

来源：激光与光电子学进展, 2022, 59(11): 83-95.

• 光学器件
• 微机电系统
• 法布里-珀罗腔
• 可调谐滤波器
• 红外

红外光谱检测是一种可靠稳定的分析方法，微机电系统（MEMS）法布里-珀罗（F-P）可调谐滤波器是红外光谱仪、手机摄像头、便携式高光谱成像仪和遥感仪等仪器的核心器件。传统红外分析系统和光谱仪的体积大、功耗高且价格昂贵，很难应用到小型化器件中。相比传统类型的滤波器，MEMS F-P可调谐滤波器具有尺寸小、分辨率高、易于集成和功耗低等优势。综述了近年来MEMS F-P可调谐滤波器在国内外的研究进展，讨论了其波长调谐范围、光谱分辨率、孔径大小以及制造的复杂性和成本等，并展望了MEMS F-P滤波器未来的发展趋势和应用前景，为MEMS F-P可调谐滤波器的研究提供了参考。

• 单位
  物理与电子学院; 南宁师范大学