光刻机工件台六自由度超精密位移测量研究

作者：胡金春; 高阵雨; 成荣; 朱煜

来源：中国基础科学, 2013, (04): 17-20+66.

• 6-DOF超精密测量
• 冗余测量 6-DOF ultra-precision displacement meas-urement
• redundant measurement

工件台是光刻机的核心子系统之一,直接决定了光刻机所能实现的关键尺寸、套刻精度及生产率。六自由度(6-DOF)超精密动态位移测量技术是工件台实现动态精度的关键技术之一,其中多自由度间非线性耦合导致解算误差是其核心科学问题。针对工件台超精密位移精度、快速计算需求,本文介绍了在测量拓扑、解算算法等几个方面开展的研究,提出测量原则、方案及解算方法,解决了6-DOF超精密动态位移中的解算误差问题。

• 单位
  清华大学; 摩擦学国家重点实验室; 国家自然科学基金委员会