喷动流化床在四氯化硅氯氢化工艺的应用研究

作者：李晋; 李丹

来源：广东化工, 2016, 43(17): 141-143.

• 喷动流化床
• 四氯化硅
• 氯氢化
• 应用

文章对生产多晶硅的改良西门子法,其副产物四氯化硅氯氢化制备三氯氢硅的工艺方法进行比较分析,对喷动流化床为核心设备的原理、结构、特点进行全面分析介绍,提出使用喷动流化床为核心设备的氯氢化工艺,归纳出最小喷动流化气速关联式,为喷动流化床的氯氢化技术工程化奠定了重要基础。

• 单位
  成都学院; 四川化工职业技术学院