TiO2的制备及其在钙钛矿太阳电池中的应用

作者：张倪; 原玮敏; 武晨晓; 朱燕艳^*

来源：微纳电子技术, 2019, 56(12): 1005-1009.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2019.12.010

• TiO2薄膜
• 太阳电池
• 磁控溅射法
• 溶液法
• 电流-电压法

分别采用溶液法和磁控溅射法制备了TiO2薄膜。其中对采用磁控溅射法制备的样品进行了退火。用扫描电子显微镜(SEM)观察了薄膜的表面形貌,表征结果发现,与溶液法制备的TiO2薄膜相比,采用磁控溅射法制备的薄膜更加致密,表面粗糙度更低。X射线衍射(XRD)测试结果说明,溶液法制备的薄膜是多晶结构,而磁控溅射制备的薄膜是非晶结构,经过500℃退火后溅射的样品也只有一个(101)峰。在制备好的TiO2薄膜上旋涂钙钛矿层,将其制备成太阳电池,并测试其光电性能。I-V曲线表明,采用磁控溅射法制备的TiO2薄膜制备的电池具有更高的开路电压。

• 单位
  数理学院; 上海电力大学